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하드 디스크 드라이브 제조

하드 디스크 드라이브는 개인용 컴퓨터와 노트북부터 원격 컴퓨팅 및 네트워킹(클라우드 컴퓨팅)을 위한 대용량 스토리지를 제공하는 서버 시스템까지 광범위한 데이터 스토리지 응용 분야를 지원합니다. 읽기/쓰기 헤드와 데이터 스토리지 매체(디스크)를 생산하는 제조업체들은 KLA의 검사, 계측 및 화학 공정 제어 솔루션을 사용하여 제조상의 문제를 신속하게 파악하고 해결함으로써 제품의 품질과 수율을 개선하고 출시 시간을 단축할 수 있습니다.

제품 카테고리

8 Series

고생산성 패턴 웨이퍼를 검사하는 광범위한 검사 시스템

8 Series 패턴 웨이퍼 검사 시스템은 생산 공정 문제를 신속히 식별하고 해결하기 위해 매우 높은 처리량으로 다양한 결함 유형을 감지합니다. 8 Series는 150mm, 200mm 또는 300mm 실리콘, SiC, GaN, 유리 및 기타 기판을 사용하는 반도체 칩 제조에 대해 초기 제품 개발부터 대량 생산에 이르기까지 비용 효율적인 결함 모니터링을 제공합니다. 최신 세대의 8935 검사기는 새로운 광학 기술과 DesignWise® 및 FlexPoint™ 정밀 영역 검사 기술을 사용하여 반도체 칩 오류를 유발하는 주요 결함을 검출합니다. DefectWise® AI 기술을 사용하면 결함 유형을 인라인으로 신속히 분리하여 결함 발견 및 분류하는 것을 개선할 수 있습니다. 이러한 혁신을 통해 8935는 낮은 잡음 비율으로 수율 및 신뢰성 관련 결함의 높은 생산성 검출을 지원하며, 반도체 칩 제조 업체가 안정적이고 저렴한 비용으로 제품 납품을 가속화하는데 도움을 줍니다. 8 Series 검사기는 논리 소자, 메모리, 전력 반도체 소자, LED, 포토닉스, RF 소자, MEMS 등의 광범위한 첨단 소자 및 레거시 노드 소자 유형 제조에 걸쳐 결함 모니터링을 지원합니다. 8 Series 시스템은 AR/VR 렌즈 및 하드 디스크 드라이브(HDD) 생산 중 품질 관리도 지원합니다.

CAPRES CIPTech®

전기/자기 특성 계측

CAPRES A301 CIPTech® 및 CAPRES M300 CIPTech® 계측 시스템은 MRAM, STTRAM, 자기 기록 헤드 및 자기 센서 응용분야와 관련된 영역에서 블랭킷 MTJ(자기 터널 접합) 스택에 매우 중요한 MR & RA(자기 저항 및 터널링 저항)를 직접 측정합니다. IBM에서 라이선스를 취득한 CIPTech®(Current In-Plane 터널링 기술)는 이전 기술에 비해 전례 없는 측정 속도와 획기적인 비용을 제공하며 시간을 절감할 수 있습니다. CAPRES의 독점적인 nano-MEMS 탐침 기술과 결합하면 전자동 CAPRES A301 CIPTech 시스템 및 반자동/수동 CAPRES M300 CIPTech 시스템을 통해 300mm의 전체 웨이퍼 또는 샘플 조각에서 MTJ 특성을 신속하고 효과적이며 비파괴적으로 측정할 수 있습니다 MTJ 표면은 12개의 미세한 캔틸레버 전극이 있는 새로운 다중 지점 접촉 탐침으로 측정되며, CIPT는 CAPRES 다중 지점 측정에서 직접 MR 및 RA를 자동으로 추출하는 데 사용됩니다.

MicroSense® KerrMapper

종방향 자기광 커 효과(Magneto-Optic Kerr Effect; MOKE) 시스템

MicroSense® KerrMapper 설비 제품군은 종방향 자기광 커 효과(MOKE)를 사용하여 데이터 스토리지, MRAM 및 기타 자기 센서를 위한 자기 다층 웨이퍼의 자기 특성에 특징을 부여합니다. MicroSense® KerrMapper S300 및 V300 시스템은 비접촉 전면 웨이퍼 측정 기술을 활용하여 전체 웨이퍼의 자기 특성 맵을 생성합니다. 두 시스템 모두 수동 로딩 또는 전자동 구성으로 제공되어 연구개발 및/또는 생산에 사용됩니다. MicroSense 자기 계측 설비의 독점적인 직접 필드 제어 기법을 사용하는 MicroSense® KerrMapper 시스템은 높은 필드 기능과 낮은 필드 분해능을 제공하여 단일 시스템 내에서 자유 및 고정 층 특성에 특징을 부여합니다.

MicroSense® DiskMapper

HAMR/TAR 미디어의 비파괴, 비접촉, 양면 매핑

MicroSense® DiskMapper H8 시스템은 디스크 드라이브 수율에 중요한 요소인 증착 직후 열병식 자기 기록(TAR) 디스크라고도 하는 열 보조 자기 기록(HAMR)의 수직 기록 레이어의 균일성을 신속하게 결정합니다. 사용자 지정 8 Tesla 양극 고속 초전도 자석을 활용하여 3분 이내에 모든 디스크 히스테리시스 루프 위치를 측정할 수 있습니다. MicroSense® DiskMapper H8 시스템은 전체 카세트 자동화와 양면 측정 기능을 활용하는 R&D 및 생산 툴입니다.

MicroSense® Polar Kerr

수직 자기 기록 (PMR) 매체용 비접촉 자기 특성 계측 시스템

MicroSense® Polar Kerr 계측 시스템은 디스크 드라이브 미디어 제조 과정에서 신속한 공정 피드백을 제공하기 위해 증착 직후 수직 자기 기록(PMR) 레이어의 자기 속성을 특성화합니다. 전체 디스크, 비파괴적 비접촉식 측정 기술과 자동화된 취급은 시스템을 PMR 개발과 생산 모니터링을 위한 강력한 설비로 만듭니다. PMR 매체 성능에 필수적인 자기 변수를 빠르고 정확하게 측정함으로써, MicroSense Polar Kerr 시스템은 엔지니어가 복잡한 박막 증착 공정을 제어하고 제품 수율을 개선할 수 있도록 지원합니다.

Candela® 7100 Series

하드 디스크 드라이브 미디어와 기판 결함 검사 및 분류 시스템

하드 디스크 드라이브 제조용 Candela® 7100 Series 첨단 미디어와 기판 결함 감지 및 분류 시스템은 수율을 극대화하고 하드 디스크 검사 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다. 이중 광학 경로 구성 덕분에 마이크로 피트, 범프, 입자 및 파묻힌 결함과 같은 중요한 서브마이크론 결함에 대한 고유한 결함 시그니처를 분류할 수 있습니다. Candela 7110 구성은 검사를 위해 수동으로 기판 로딩을 지원하는 반면, Candela 7140은 전자동 카세트 투 카세트 기판 로딩 지원 기능을 제공합니다.

고감도(HS) 옵션은 베어 글라스(bare glass)와 금속 기판 검사 모두를 위해 향상된 감도 및 포착 속도를 제공합니다.

Candela® 6300 Series

하드 디스크 드라이브 미디어와 기판 지형학 측정 및 결함 검사 시스템

Candela® 6300 이중 레이저 기반 검사 시스템은 하드 디스크 드라이브 기판과 완제품 미디어에 대한 표면 검사를 제공합니다. 고유한 다중 채널 광학 설계 덕분에 부드러운 금속 및 글라스 기판 모두에서 거칠기 및 파형도 계측 측정 작업을 수행할 수 있습니다. 입자 및 스크래치와 같은 결함은 동일한 플랫폼을 사용하여 자동으로 감지하고 분류할 수 있습니다. Candela 6310은 실험실 및 소량 생산에 적합한 수동 시스템인 반면, Candela 6340은 생산 환경을 위한 전자동 카세트 투 카세트 시스템입니다.

ECI

화학 공정 모니터링

ECI Technology는 하드 디스크 드라이브 제조를 지원하는 화학 공정 모니터링 제품을 제공합니다. 자세한 내용은 https://www.ecitechnology.com/products/을 확인하십시오.

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