화학 공정 제어

KLA의 화학 공정 제어 제품은 중요한 상감 공정, 세정 및 습식 식각 공정에 대한 분석 및 모니터링을 포함하여 칩 제조를 위한 여러 응용 분야를 지원합니다. 화학 분석 시스템을 이용해 엔지니어들은 개발 과정에서 여러 공정을 평가하고, 대량 생산 시 온라인 모니터링을 위해 여러 공정 툴과 완벽하게 통합할 수 있습니다. KLA의 화학 공정 제어 시스템이 제공하는 정보를 통해 칩 제조업체들은 신속하게 공정을 최적화하고 더 높은 수율과 신뢰성을 달성할 수 있습니다.

ECI

화학 공정 모니터링

ECI Technology는 다음을 포함하여 칩 제조를 지원하는 화학 공정 모니터링 제품을 제공합니다.

구리 및 코발트 금속화를 포함하여 습식 금속화 공정의 온라인 모니터링 및 정확한 제어를 지원하는 제품: https://www.ecitechnology.com/products/semiconductor/interconnects/
벤치탑 화학 모니터링 시스템부터 완전 자동화된 온라인 모니터까지 중요한 식각 및 세정 공정을 지원하는 다양한 화학 분석기: https://www.ecitechnology.com/products/semiconductor/surface-preparation/

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