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硬盘驱动器制造

硬盘驱动器支持各类数据存储应用，从个人电脑和笔记本电脑到为远程计算和网络提供大容量存储的服务器系统（云计算）。我们的检测、计量和化学工艺控制解决方案有助于生产读写头和数据存储介质（磁盘）的制造商快速了解和解决制造问题，从而提高质量、良率并加快上市时间。

产品类别

8 Series

高效率图案晶圆宽带检测系统

8 Series图案晶圆检测系统以卓越的产出率侦测各类缺陷，快速识别与解决生产过程中的问题。8 Series提供具成本效益的缺陷监测，针对芯片制造使用的150毫米、200毫米或300毫米的矽、SiC、GaN、玻璃与其他基板，从产品初期开发到量产阶段皆适用。最新一代的8935检测仪采用全新光学技术以及DesignWise®和 FlexPoint™ 精确定位技术ˋ，捕捉任何可能导致芯片故障的关键缺陷。DefectWise® AI技术快速进行线上分离，从而改善缺陷检测与分级效能。透过这些创新技术，8935检测仪高效捕捉与产量和可靠性相关的缺陷，同时保持低误报率，帮助芯片制造商以更低的成本交出可靠的产品。8 Series检测仪支援针对制造过程中各种领先与传统节点进行缺陷检测，包括逻辑、储存、功率、LED、光子、射频与微机电（MEMS) 器件。8 Series更确保制造过程中现实/虚拟以及硬盘驱动器（HDD) 的质量控制。

CAPRES CIPTech®

电学/磁学性能量测

CAPRES A301 CIPTech®和CAPRESM300 CIPTech®计量系统可直接测量与MRAM、STTRAM、磁记录头和磁传感器应用相关的铺盖式磁隧道结构（MTJ）层中的关键性磁电阻和隧道电阻（MR和RA）。获得IBM许可的Current In-Plane Tunneling 技术 (CIPTech®)具有前所未有的测量速度，并相比先前的技术在成本和时间上带来了巨大的节省。当与CAPRES专有的纳米MEMS探针技术结合使用时，完全自动化的CAPRES A301 CIPTech系统和半自动/手动的CAPRES M300 CIPTech系统可以快速而有效地对300mm全片或样品券上的MTJ性质进行非破坏性测量。MTJ表面通过一种新型的多点接触探针进行探测，该探针具有十二个微观悬臂电极，并使用CIPT技术从CAPRES多点测量中直接提取MR和RA。

MicroSense® KerrMapper

纵向磁光 Kerr 效应系统

MicroSense® KerrMapper系列工具利用纵向磁光克尔效应（MOKE）来表征磁性多层晶片（用于数据存储、MRAM和其他磁传感器）的磁性特性。利用非接触式全晶片测量技术，MicroSense® KerrMapper S300和V300系统可以创建整个晶片磁性特性的映射图。这两种系统都可以手动加载或全自动配置，用于研发和/或生产。使用MicroSense磁测量工具的专有直接场控制技术，MicroSense® KerrMapper系统提供高场能力和低场分辨率，可在单个系统中表征自由层和固定层性能。

MicroSense® DiskMapper

HAMR/ TAR 介質之非破壞、非接、雙面映射

MicroSense® DiskMapper H8系统快速测定热辅助系统（HAMR) 亦称热辅助纪录（TAR) 磁碟之垂直纪录层均匀性，该层在沉积后立即进行测定，此为碟片驱动器产量的重要因素。利用自定义的 8 Tesla双极高速超导磁铁，可在不到3分钟内测量任何碟片位置之滞回线。使用全套卡片晶舟盒与双面测量能力，MicroSense® DiskMapper H8系统可同时作为研发与生产工具。

MicroSense® Polar Kerr

用于垂直纪录（PMR) 介质的非接触式磁性量测系统

MicroSense® Polar Kerr测量系统用于表征垂直纪录（PMR) 层在制造磁盘驱动介质时的磁性能，得以在薄膜沉积后立即提供快速的工艺反馈。该系统凭借全盘、非破坏性、非接触式测量技术和自动化处理，成为 PMR 开发和生产监控的强大工具。MicroSense Polar Kerr系统快速准确测量对 PMR 介质性能至关重要的磁性参数，提高了对复杂薄膜沉积过程的控制能力，并提升了产品良率。

Candela® 7100 Series

硬碟驱动器介质和基板缺险检测与分类系统

Candela® 7100 Series先进的媒体和基板缺陷检测与分类系统适用于硬碟制造，有助将产量提升至极限，同时降低硬碟检验成本。双光路配置针对关键的亚微米级缺陷进行特殊缺陷特征分类，例如微小凹痕、凸块、颗粒以及埋藏缺陷。Candela 7110 配置支援手动载入基本进行检验，而Candela7140则提供全自动卡匣至卡匣基本载入功能。

高灵敏度（HS) 选项提供了对裸玻璃和金属基板检验更强化的灵敏度与捕捉速度。

Candela® 6300 Series

硬盘驱动器介质和基板形貌与缺陷检测系统

Candela® 6300双雷射检测系统针对硬碟驱动基板与成品介质表面进行检测。其独特的多通道光学设计可测量光滑金属与玻璃基板上之粗糙度与波纹度。利用相同平台，可自动检测与分类颗粒、刮痕等缺陷。Candela6310为一款适用于实验室与低产量生产之手动系统，而Candela6340则适用于生产环境的全自动卡匣至卡匣系统。

ECI

化学工艺监控

ECI Technology提供支援硬盘制造的化学过程监控产品。有关详细信息，请访问 https://www.ecitechnology.com/products/。

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