공정 제어
반도체 공정 장비 제조업체는 KLA의 공정 제어 시스템을 사용하여 공정 품질을 파악하고 툴 성능을 최적화합니다. 공정 및 툴 개발 단계에서 사용되는 KLA의 공정 제어 시스템은 공정 조건을 시각화하고 진단 및 제어하는 데 쓰이는 정보를 생성함으로써 장비 제조업체가 툴 성능에 대한 특성을 완전히 파악하고 이해할 수 있게 해줍니다. KLA의 검사, 계측 및 in situ 공정 모니터링 솔루션은 또한 배송 전 공정 툴의 성능을 검증하는 데에도 사용됩니다. KLA의 공정 제어 시스템은 장비 공급업체가 신뢰할 수 있고 생산성이 뛰어난 공정 툴을 구축할 수 있도록 지원합니다.
공정 제어 제품
칩 제조를 위한 KLA의 포괄적인 공정 제어 제품 포트폴리오는 반도체 생태계를 위한 공정 툴의 개발 및 생산을 지원합니다. 공정 장비 제조업체를 지원하는 당사 제품:
- Surfscan® 비패턴 웨이퍼 검사 시스템
- SensArray® 현장 공정 모니터링 솔루션
- SpectraFilm™ 박막 계측 시스템
- Axion® X-선 임계 치수(CD) 및 형상 계측 시스템
- SpectraShape™ 광학 임계 치수(CD) 및 형상 계측 시스템
- 등...
저희의 결함 검사 리뷰, 계측 그리고 In Situ 공정 관리 제품 범주에 있는 반도체 공정 장비 제조사에서 사용가능한 제품을 확인하여 보세요.
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