中国

工艺控制

半导体工艺设备制造商使用 KLA 的工艺控制系统来了解工艺品质和优化工具性能。KLA 的工艺控制系统可在工艺和工具开发过程中使用，它可生成用于呈现、诊断和控制工艺条件的信息，从而便于设备制造商充分测量和了解其工具的性能。我们的检测、计量和原位工艺监控解决方案还可用于在发货前验证工艺工具的性能。KLA 的工艺控制系统可协助设备供应商构建可靠且适合生产的工艺工具。

工艺控制产品

KLA 全面的芯片制造工艺控制产品组合还支持半导体生态系统工艺工具的开发和生产。我们可为工艺设备制造商提供支持的产品包括：

  • Surfscan® 无图案晶圆检测系统
  • SensArray® 原位工艺监控解决方案
  • SpectraFilm™ 薄膜计量系统
  • Axion® X 射线临界尺寸 (CD) 和形状计量系统
  • SpectraShape™ 光学临界尺寸 (CD) 和形状计量系统
  • 此外还有若干产品......

了解我们在缺陷检测与复检、量测和原位工艺管理等产品类别中的现有产品

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