扩展AI技术边界
革新性的缺陷发现
作为我们首个集成AI的工艺控制系统，eSL10™电子束图案化晶圆缺陷检测仪采用SMARTs™深度学习算法，区分极为微妙的缺陷信号和周围的图案及工艺噪声。通过AI，eSL10可以适应不断变化的检测需求，将对先进设备最为严重的性能缺陷进行隔离。
智能制造
未来智能集成电路制造将利用工厂中的连接性来推动自动化改进。AI系统可以处理海量数据集，深入洞察趋势和潜在偏差，并利用这些信息做出决策。为了保持质量、良率和生产效率，对制造过程的全面可见性可以提供所需的追溯性，从而推动持续改进。