化学プロセス制御装置

KLAの化学プロセス制御装置は、LSI・実装基板・プリント基板(PCB)の製造現場において、めっき液および洗浄液の成分のモニタリングなど、さまざまなアプリケーションをサポートしています。 分析システムは、特許取得済みのサイクリックボルタンメトリックストリッピング(CVS)技術で、LSI・実装基板・PCBのめっき浴の成分を分析することにより、最適なめっき条件を保証します。 化学管理システムは、LSI・実装基板・PCBの量産工程におけるめっきプロセスのオンラインモニタリングと成分制御を可能にします。 これらの化学プロセス制御装置によって得られるデータにより、LSI・IC実装基板・PCBのお客様はプロセスを最適化し、より高い品質を保つことができます。

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ECI

化学プロセスのモニタリング

ECI Technologyは、LSI・実装基板・PCB製造をサポートする以下の化学プロセスモニタリング装置を取り扱っております。

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