제품 설명
Tencor P-17은 40년의 표면 계측 경험을 기반으로 구축된 8세대 벤치 탑 스타일러스 Profiler입니다. 산업을 선도하는 이 시스템은 스티칭 없이 최대 200mm 스캔을 위한 스텝 높이, 조도, 보우 및 응력의 2D 및 3D 측정을 지원합니다.
UltraLite® 센서, 일정한 힘 제어와 평면 스캐닝 스테이지를 결합하여 우수한 측정 안정성을 달성합니다. 레시피는 상면도 및 측면도 광학과 광학 줌 기능을 탑재한 고해상도 카메라 및 포인트 및 클릭 스테이지 제어를 통해 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. Tencor P-17은 표면 형상 측정을 정량화하기 위한 다양한 필터링, 수평화 및 분석 알고리즘을 통해 2D 및 3D 측정을 지원합니다. 패턴 인식, 시퀀싱 및 기능 검출로 완전한 자동화 측정을 달성합니다.
기능
- 스텝 높이: 나노미터에서 1000µm
- 일전한 힘을 제어하는 낮은 수준의 힘: 0.03에서 50mg
- 스티칭 없이 샘플의 직경 스캔
- 영상: 5MP 고해상도 컬러 카메라
- 아크 교정: 스타일러스의 아크 모션으로 인한 오류 제거
- 소프트웨어: 사용하기 쉬운 소프트웨어 인터페이스
- 생산 역량: 완전히 자동화된 시퀀싱, 패턴 인식 및 SECS/GEM
애플리케이션
- 스템 높이: 2D 및 3D 스텝 높이
- 텍스처: 2D 및 3D 조도 및 파형
- 형태: 2D 및 3D 보우 및 형태
- 응력: 2D 및 3D 얇은 박막 응력
- 결함 리뷰: 2D 및 3D 결함 표면 형상
산업
- 대학교, 연구 실험실 및 기관
- 반도체 및 컴파운드 반도체
- LED: 발광 다이오드
- Solar
- MEMS: 미세 전자 기계 시스템
- 데이터 스토리지
- 자동차
- 의료 소자
- 기타: 요구사항에 대해 연락 주세요
