ASET-F5x Pro

박막 계측 시스템

ASET-F5x Pro 박막 계측 시스템은 광범위한 박막 적층 및 기하구조에 걸쳐 박막 두께, 굴절률 및 휨/응력 기능에 대한 신뢰할 수 있고 가성비 있는 고정밀 박막 측정을 제공합니다. 본 시스템은 절대적인 정확도, 재현성 및 시스템 간 일치를 제공하는 기능을 갖추고 있으며 이는 IoT, 자동차 및 모바일 시장용 소자를 제조하는 반도체 공장에 필요합니다. ASET-F5x Pro는 단일 시스템에 정밀한 광학 분광 타원 측정 및 반사 측정 측정 기술을 통합하여 µLED, MEM 및 IC 제조업체가 요구하는 모든 범위의 박막 측정 당면 과제를 처리합니다.

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Archer™

오버레이 계측 시스템

Archer™ 이미징 기반 오버레이 계측 시스템은 다양한 기판 유형, 크기, 재료 및 두께에 대한 견고하고 정확하며 신뢰할 수 있고 재현 가능한 오버레이 등록 및 CD 측정을 제공합니다. 업계에서 증명된 Archer 플랫폼은 빠르고 반복 가능하며 시스템 간 일치 성능을 제공하며 이는 IoT, 자동차, µLED 및 모바일 부문용 제품을 생산하는 반도체 공장에서 요구되어 집니다.