认证与翻新
量测
ASET-F5x Pro
薄膜量测系统
ASET-F5x Pro薄膜量测系统提供经济可靠且高精度的薄膜测量,可针对各种薄膜堆叠和几何形状的薄膜测量其厚度、折射率和翘曲度/应力等。该系统的功能特点可为物联网、汽车和移动设备的晶圆厂所需的绝对精度、再现性和系统与系统间的匹配提供配套解决方案。 ASET-F5x Pro在单个系统中集成了精确的光学光谱椭偏仪和反射仪量测技术,以应对µLED、MEMS和IC制造商所需的全方位薄膜测量的挑战。
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产品上的薄膜厚度和化学计量控制,光刻、沉积、CMP和蚀刻的在线设备及工艺监控,工艺设备匹配
认证和再制造