logo_country

认证与翻新

缺陷检测

Surfscan® Series

无图案晶圆检测系统

Surfscan® 无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控，能够迅速找到表面的缺陷，从而支持IC、OEM、材料和衬底制造。

主要应用

工艺认证、设备认证、设备监控、出厂晶圆质量控制、入厂晶圆质量控制、光阻和光刻机认证、工艺调试。

相关产品

Surfscan SP2XP:

针对≥45nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

下载产品手册

Surfscan SP2:

针对≥65nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

下载产品手册

Surfscan SP1DLS Pro:

针对≥90nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

下载产品手册

Surfscan SP1TBI Pro:

针对≥130nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

下载产品手册

2835, 2367

宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统

2835和2367宽带等离子缺陷检测系统提供了业界公认的光学图案缺陷检测性能，能够在≥45nm的逻辑、内存和专业元件上对良率关键缺陷进行监控。每个型号的系统都配备特定可选的波长照明、成像像素、光学模式和先进的噪声抑制和缺陷分类算法，为最关键的工艺层提供经济高效的在线检测控制。

主要应用

在线缺陷发现与监控、热点发现、工程分析、工艺窗口认证、光刻单元监控

相关产品

2835:

针对≥45nm设计节点的采用宽带深紫外-紫外-可见光光谱的图案晶圆检测系统

下载产品手册

2367:

适用于≥65nm设计节点的采用宽带紫外-可见光光谱的图案晶圆检测系统

下载产品手册

认证和再制造

产品系列

量测

量测

衬底制造

衬底制造

Are you sure?

You've selected to view this site translated by Google Translate.
KLA China has the same content with improved translations.

Would you like to visit KLA China instead?

您已选择查看由Google翻译翻译的此网站。
KLA中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问KLA中国吗？

如果您当前是KLA员工，请通过My Access上的KLA Intranet进行申请。

退出